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多晶硅生产过程中需要什么样的废气处理设备

出处:www.yxhykj168.com  分类:行业资讯  发布:2019-3-26 10:27:59  阅读:(271)
摘要:
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  在多晶硅(silicon)的生产中,还会产生一定的废气和残液,目前我们的废气处理设备已经比较先进,对以前的处理技术进行了改进,已经达到了较高的水平。
  多晶硅是太阳能和微电子产业的关键(解释:比喻事物的重要组成部分)原料(raw material),随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。目前,多晶硅工艺技术空前活跃。主要有西门子法、冶炼金属法、等离子法、酰亚胺(Imide)法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过(tōng guò)气相沉积(sedimentation)的方式方法生产柱状多晶硅。为了提高原料利用率,在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。
  国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。喷淋塔厂家酸雾废气由风管引入净化塔,经过填料层,废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,酸雾废气经过净化后,再经除雾板脱水除雾后由风机排入大气。uv光解废气处理装置无需添加任何物质:之需要设置相应的排风管道和排风动力,使恶臭气体通过本设备进行脱臭分解净化无需添加任何物质参与化学反应。如张玉等人采用催化化学气相沉积(sedimentation)法制备多晶硅薄膜(薄而软的透明薄片);美国M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒生长。此外,多晶硅的生产技术还有碳热还原法、区域熔炼法等。碳热还原法是利用高纯碳还原二氧(Oxygen)化硅制取多晶硅,区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。
  废气和残液的处理(chǔ lǐ)
  在多晶硅(silicon)制备中有大量的废气和废液产生,国内多数单位(unit)通常先用水洗水解,然后通过NaOH中和废气处理(chǔ lǐ)和残液处理工序。voc废气处理设备在用多孔性固体物质处理流体混合物时,流体中的某一组分或某些组分可被吸表面并浓集其上,此现象称为吸附。吸附处理废气时,吸附的对象是气态污染物,气固吸附。被吸附的气体组分称为吸附质,多孔固体物质称为吸附剂。
  废气净化
  氯硅(silicon)烷分离提纯工序各精馏塔顶排放的含氯硅烷、氮气的废气,及含氯硅烷、氢(Hydrogen)气、氮气、氯化氢的多晶硅还原炉置换吹扫气和多晶硅还原炉事故排放气等,被送进尾气洗涤塔组,用水(盐酸溶液)洗涤,废气中的氯硅烷与水发生以下反应而被除去:
  SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2
  SiCl4+2H2O=SiO2+4HCl
  SiH2Cl2+2H2O=SiO2+2HCl+H2
  出尾气处理塔顶含有氮气(Nitrogen)和氢气的废气经液封罐放空,出尾气处理塔塔底含有SiO2固体的盐酸溶液(acid solution)用泵送入工艺废料处理工序。
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